層流壓差式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種基于流體力學原理的高精度控制裝置，通過層流元件將氣體從湍流整流成層流，氣體在層流狀態(tài)下，壓差和流量成線性關(guān)系，通過測量壓差來計算流量，其顯著特點如下：

層流壓差原理與線性特性

通過層流元件使氣體形成穩(wěn)定層流，流量與壓差呈線性關(guān)系，確保高精度測量（通常±1%以內(nèi)）和直接計算，無需復雜算法。

寬量程比（高動態(tài)范圍）

量程比可達100:1以上，支持從極低到高流量的寬范圍控制，適應多樣化工況需求。

低壓力損失

層流元件設計優(yōu)化流道，減少壓降，降低能耗，尤其適合低壓或?qū)簱p敏感的系統(tǒng)。

快速響應與實時控制

結(jié)合高速傳感器和調(diào)節(jié)閥，響應時間短（毫秒級），實現(xiàn)實時閉環(huán)控制，提升系統(tǒng)動態(tài)性能。

溫度補償與穩(wěn)定性

內(nèi)置溫度傳感器和補償算法，抵消氣體粘度隨溫度變化的影響，確保長期穩(wěn)定性，適合環(huán)境波動場景。

多氣體兼容性

通過校準適配不同氣體，支持單一設備用于多種氣體。

緊湊結(jié)構(gòu)與集成化設計

采用微型化層流元件和模塊化結(jié)構(gòu)，體積小巧，易于集成到復雜系統(tǒng)（如半導體設備或?qū)嶒炇已b置）。

數(shù)字通信與智能化接口

配備RS485、Modbus、EtherCAT等接口，支持遠程監(jiān)控和自動化集成，滿足工業(yè)4.0需求。

高可靠性與低維護

無活動部件設計減少磨損，抗振動干擾，壽命長，維護成本低，適合連續(xù)工業(yè)環(huán)境。

環(huán)境適應性

適用于潔凈或腐蝕性氣體，接氣部材質(zhì)為316L不銹鋼及耐腐蝕密封圈，以應對嚴苛條件。

對比其他類型MFC：相較于熱式（依賴導熱性，量程窄）或科里奧利式（高精度但成本高），層流壓差式在精度、成本與量程間取得平衡，成為工業(yè)及實驗室的主流選擇。其核心優(yōu)勢在于線性響應與寬動態(tài)范圍，適合需精確控制且流量變化大的場景。