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氣體質量流量控制器【簡稱MFC】基于內部補償型層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，通過精密電磁比例調節(jié)閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩(wěn)定的流量測量和控制。層流質量流量控制器可作為主要設備在高?？蒲性核蛷V泛的工業(yè)過程自動化控制中使用。
